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利用叠前CMP资料估计介质品质因子

日期:2015.08.17 点击数:3

【类型】期刊

【作者】赵静高静怀王大兴汪玲玲

【刊名】暂无

【关键词】 WEPIF法 叠前CMP资料 品质因子Q 衰减

【资助项】暂无

【摘要】利用叠前CMP资料估计介质品质因子

【年份】2015

【期号】第7期

【所属分类】暂无分类

【阅读地址】读秀

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