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条
利用叠前CMP资料估计介质品质因子
作者：
赵静
高静怀
王大兴
汪玲玲
年份：
2015
文献类型 ：
期刊
关键词：
WEPIF法
叠前CMP资料
品质因子Q
衰减
描述：
利用叠前CMP资料估计介质品质因子
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